量程：0.5~15mm

分辨率：0.1nm

量程：0~60mm

非线性度：1%FS

量程：0~2.16mm

非线性度：0.3%

量程：0~15mm

非线性度：＜0.1%FS

量程：±0.5mm~±500mm

非线性度：＜0.50

量程：±0.5mm~±500mm

非线性度：＜0.50

转速（max）：9000r/min

分辨率：28位

量程：90°~43200°

精度：0.05%