最常用的振动加速度传感器是压电式加速度计。这种类型的传感器具有非常广泛的动态测量规模。还有许多其他类型的加速度计被用于测量很低频率的加速度，例如轿车的制动，提升机的运行状况，甚至于地球发生的重力加速度。这些测量项目主要依托压阻、电容和伺服技能。耐特恩传感网今天为大家介绍一下MMF的压电式加速度传感器以及Dynalabs的压阻/电容式加速度传感器
压电式加速度传感器
压电式加速度计坚固耐用，结构紧凑，频率响应规模宽，适用于监测滚动轴承等很高频率的振动。压电式加速度传感器是惯性式传感器，采纳在机器外壳安装的结构。
压电传感器这些固有特性是因为运用压电材料作为灵敏元件。传感器的震动质量块在加速度作用下发生惯性力，这个力对具有一定刚度的压电元件发生压电效应。在低于震动质量固有频率的一个频率规模内，传感器输出的电量与加速度成正比。压电加速度计的典型频率响应如下图所示。
电阻/压阻式加速度传感器
电阻式加速度计运用应变计作为灵敏元件。当底座被加速时，经过悬臂梁传送的力使质量块发生加速度。用应变计测量梁的挠曲，为取最大灵敏度，一般采用压阻式应变计，并且由四个应变计组成惠斯登电桥。在壳体内灌注阻尼流体，作为振动阻尼。这种加速度计的测量规模达到士1000g。可是，它的固有频率一般较低，运用频率的上限仅为几百赫兹。虽然某些产品的频率上限可达1～2kHz，可是比压电传感器的频率上限低许多。应变计加速度计的价格比压电加速度计便宜许多。
现代压阻加速度计采用MEMS（微型机电体系）技能制作。在这种加速度计中，应变计被直接分散到挠曲元件上，因此半导体硅既是挠曲原件又是传感元件。因为挠曲原件的刚度大，所以频率规模广。同时具有尺寸小，灵敏度高（压阻应变计的灵敏系数是金属应变计的25～50倍），信噪比大，线性和稳定性好的特色。假如进行恰当的温度补偿，工作温度为一20～120℃。
电容式加速度传感器
电容式加速度传感器
MEMS电容式加速度计的灵敏元件用静电键合工艺构成平板电容器，具有频响规模宽，低频直至零频，性能稳定，结构坚固，运用方便的特色。内置电子电路，供给高电平、低阻抗输出。虽然设计的加速度测量值较低，可是可以接受很大的加速度冲击。适用于弹道监督、结构评估、颤振实验，轿车悬架和制动器实验等使用。